MKS臭氧发生器AX8415、AX8410和AX8400区别

ALD和ALE工艺是要求臭氧技术持续进步的主要应用。如上所述，同时满足应用流程和浓度要求以及OEM的系统设计要求是臭氧发生器和系统技术开发的驱动力。MKS的臭氧发生器和集成系统产品组合在推进臭氧技术以满足这些要求方面有着悠久的历史。所有MKS臭氧发生器均采用介质阻挡放电法生产臭氧。随着时间的推移，放电池结构的进步提高了臭氧浓度，同时扩大了臭氧生产的范围，并确保其先进性。

图1显示了MKS臭氧发生器技术基于臭氧产量的进步稳步增加。例如，MKS Instruments AX8400系列臭氧发生器是一种高度可配置的发生器，可满足高达250克/小时的要求。MKS的AX8415和AX8410发电机的目标应用是在紧凑的外形中要求高浓度和高流动状态。AX8415和AX8410旨在生产超清洁、高浓度的臭氧。MKS在AX8415和AX8410型号中引入的臭氧电池设计能够支持浓度高达425 g/Nm3（27.1 wt%）的臭氧输送，流速高达80 slm。

客户需要不断优化其安装基座的寿命，因此，更新的发电机设计可以方便地与AX8415发电机集成，这是MKS设计的臭氧系统中SEMOZON?AX8407发电机的直接替代品。MKS Instruments设计的产品满足设备制造商的臭氧输送应用要求，提供完全集成的臭氧输送系统，包括单个或多个发生器，具有集成的臭氧监测和安全装置以及可选的臭氧销毁装置。这些系统是使用专有和适应性材料设计的，以满足半导体环境和质量标准。例如，氧化膜工艺可能需要三个或四个独立发生器的臭氧系统配置，以5至10slm将250g/Nm3的臭氧输送到三室或四室ALD工具。

另一个例子是25至50片的垂直间歇式反应器，其可能需要180至200g/Nm3的70至100slm的臭氧。用于批量ALD应用的臭氧系统需要具有单个输出或一个通道的多发生器臭氧系统的支持。系统中的每个额外的发生器都扩展了给定浓度的流量范围。例如，单个AX8415发生器在15slm下产生300g/Nm3的臭氧浓度。另一台发电机的加入使系统的输出在30slm时提高到300g/Nm3。因此，四发生器单通道系统能够在60 slm下达到300 g/Nm3。通过增加发电机，臭氧浓度保持不变；然而，产生的臭氧总量显著增加。MKS为所有生产ALP设备的原始设备制造商提供臭氧输送系统。MKS臭氧输送系统与立式炉、空间ALD工具和腔室沉积系统一起使用。每个臭氧输送系统都有其特定的应用要求，与主要工艺工具的要求相一致，以确保很终用户能够沉积很高质量的薄膜或去除特定的原子层。